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關(guān)于艾科威
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提供從器件研發(fā)到批量生產(chǎn)的全流程裝備解決方案
質(zhì)子交換爐
基于雙溫區(qū)協(xié)同機制，在鈮酸鋰等光學(xué)材料中實現(xiàn)質(zhì)子交換反應(yīng)，形成低損耗集成光波導(dǎo)結(jié)構(gòu)，支撐高速光子器件制造
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臥式氧化擴散退火爐
集成氧化、擴散、退火多功能工藝，支持硅基及寬禁帶半導(dǎo)體材料的摻雜調(diào)控、界面優(yōu)化與結(jié)構(gòu)成型，服務(wù)晶圓量產(chǎn)核心制程。
臥式LPCVD
通過低壓化學(xué)氣相沉積技術(shù)在基片表面反應(yīng)生成氮化硅、摻雜多晶硅等固體薄膜，滿足器件介質(zhì)封裝與鈍化層的大產(chǎn)能沉積需求。
磁控濺射鍍膜機
采用先進PVD技術(shù)，通過嚴(yán)格控制薄膜厚度與均勻性，高效沉積高致密、強結(jié)合力、超高純凈度的功能薄膜，精準(zhǔn)滿足工藝需求。
磁控濺射鍍膜機 (多腔室)
通過多腔室集群架構(gòu)實現(xiàn)全自動薄膜沉積，滿足金屬電極、光學(xué)鍍膜及電磁屏蔽層的高一致性量產(chǎn)需求。
封裝設(shè)備 激光封焊機
采用非接觸式激光焊接技術(shù)，可在真空或惰性氣氛下實現(xiàn)器件的高氣密性封裝，滿足軍工級可靠性要求。
服務(wù)熱線:
地址：長沙市望城經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)普瑞西路858號
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