質(zhì)子交換爐
產(chǎn)品概述
基于雙溫區(qū)協(xié)同機(jī)制，在鈮酸鋰等光學(xué)材料中實(shí)現(xiàn)質(zhì)子交換反應(yīng)，形成低損耗集成光波導(dǎo)結(jié)構(gòu)，支撐高速光子器件制造。
產(chǎn)品特點(diǎn)
雙管立式緊湊結(jié)構(gòu)：節(jié)省空間的同時(shí)支持雙工藝管并行作業(yè)，提升效率。
高精度溫度均勻控制：針對(duì)鈮酸鋰等材料特性，實(shí)現(xiàn)熱處理過(guò)程的精準(zhǔn)控溫。
自動(dòng)化工藝管理：設(shè)備集成智能系統(tǒng)，適配高環(huán)境要求的質(zhì)子交換工藝。
技術(shù)指標(biāo)
晶圓尺寸： 4英寸(兼容3英寸、2英寸)
溫度范圍：200°C-300°C
恒溫區(qū)長(zhǎng)度及精度：≤1°C/300mm
適用材料： 鈮酸鋰
應(yīng)用場(chǎng)景
適用材料：4 英寸及更小尺寸的鈮酸鋰晶片。
適用工藝：質(zhì)子交換工藝（200℃-300℃）、高環(huán)境要求的材料熱處理。
適用領(lǐng)域：光電器件、傳感器基底材料處理。
產(chǎn)品類別
工業(yè)版
關(guān)鍵詞
半導(dǎo)體裝備
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