SiC高溫激活爐
產(chǎn)品概述
面向碳化硅功率器件定制,通過(guò)超高溫退火修復(fù)離子注入晶格損傷并激活摻雜雜質(zhì),優(yōu)化車(chē)規(guī)級(jí)器件的電學(xué)性能。
產(chǎn)品特點(diǎn)
無(wú)金屬熱場(chǎng)創(chuàng)新設(shè)計(jì):采用特殊材料構(gòu)建熱場(chǎng),適配 SiC 高溫工藝需求。
長(zhǎng)壽命加熱系統(tǒng):設(shè)備關(guān)鍵部件耐極端溫度,保障高溫退火工藝的持續(xù)性。
熱場(chǎng)材料特殊處理:優(yōu)化熱場(chǎng)性能,滿(mǎn)足 SiC 離子注入后激活等高精度工藝。
技術(shù)指標(biāo)
晶圓尺寸:6英寸(兼容4英寸)
溫度范圍:1000°C-1900°C
恒溫區(qū)長(zhǎng)度:250mm
裝載片量:50片/批
控溫精度: ≤±1°C
應(yīng)用場(chǎng)景
適用材料:6 英寸及以下 SiC 晶圓。
適用工藝:高溫激活退火(1000℃-1900℃)、溝槽平滑工藝。
適用領(lǐng)域:第三代半導(dǎo)體(SiC)器件制造。
產(chǎn)品類(lèi)別
工業(yè)版
關(guān)鍵詞
半導(dǎo)體裝備
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