SiC高溫激活爐
產(chǎn)品概述
面向碳化硅功率器件定制，通過(guò)超高溫退火修復(fù)離子注入晶格損傷并激活摻雜雜質(zhì)，優(yōu)化車(chē)規(guī)級(jí)器件的電學(xué)性能。
產(chǎn)品特點(diǎn)
無(wú)金屬熱場(chǎng)創(chuàng)新設(shè)計(jì)：采用特殊材料構(gòu)建熱場(chǎng)，適配 SiC 高溫工藝需求。
長(zhǎng)壽命加熱系統(tǒng)：設(shè)備關(guān)鍵部件耐極端溫度，保障高溫退火工藝的持續(xù)性。
熱場(chǎng)材料特殊處理：優(yōu)化熱場(chǎng)性能，滿(mǎn)足 SiC 離子注入后激活等高精度工藝。
技術(shù)指標(biāo)
晶圓尺寸：6英寸(兼容4英寸)
溫度范圍：1000°C-1900°C
恒溫區(qū)長(zhǎng)度：250mm
裝載片量：50片/批
控溫精度： ≤±1°C
應(yīng)用場(chǎng)景
適用材料：6 英寸及以下 SiC 晶圓。
適用工藝：高溫激活退火（1000℃-1900℃）、溝槽平滑工藝。
適用領(lǐng)域：第三代半導(dǎo)體（SiC）器件制造。
產(chǎn)品類(lèi)別
工業(yè)版
關(guān)鍵詞
半導(dǎo)體裝備
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