喜訊:艾科威半導(dǎo)體立式爐入選湖南首臺(套)裝備,國產(chǎn)裝備再立里程碑
2025年08月11日
2025 年 8 月 11 日,湖南省工業(yè)和信息化廳正式公示年度首臺(套)重大技術(shù)裝備認(rèn)定名單。湖南艾科威半導(dǎo)體裝備有限公司自主研發(fā)的立式退火爐以突破性技術(shù)實(shí)力榮耀登榜。這不僅標(biāo)志著艾科威在半導(dǎo)體核心裝備領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)自主跨越,更奏響了湖南高端制造業(yè)強(qiáng)鏈突圍的鏗鏘足音。
技術(shù)攻堅(jiān):構(gòu)建國產(chǎn)化裝備核心優(yōu)勢

聚焦半導(dǎo)體晶圓低溫?zé)崽幚砗诵男枨?,艾科威立式退火爐實(shí)現(xiàn)全鏈條技術(shù)突破:
國產(chǎn)化替代突破
專項(xiàng)攻關(guān)核心部件與控制技術(shù),實(shí)現(xiàn)自主研發(fā)生產(chǎn),成功替代進(jìn)口部件打破國外壟斷。
智能工藝升級
集成自研自動化系統(tǒng)與晶圓輸送機(jī)構(gòu),實(shí)現(xiàn)全流程自動化操作與監(jiān)控,提升生產(chǎn)效率。
性能實(shí)力躍升
控溫精度達(dá)≤±1℃,單批次產(chǎn)量 150 片 / 爐,性能比肩國際同類產(chǎn)品,核心指標(biāo)實(shí)現(xiàn)超越。
行業(yè)痛點(diǎn)破解
攻克傳統(tǒng)設(shè)備溫度精度不足、污染率高、依賴人工等難題,滿足高精度自動化生產(chǎn)需求。
價值認(rèn)證:政策與市場雙重肯定

歷經(jīng)多輪嚴(yán)苛評審,立式退火爐憑多重優(yōu)勢獲權(quán)威認(rèn)定:
政策精準(zhǔn)契合
符合國家及湖南省制造強(qiáng)省、智能制造規(guī)劃,助力制造業(yè)高端化智能化轉(zhuǎn)型。
技術(shù)創(chuàng)新引領(lǐng)
在爐體結(jié)構(gòu)、熱場優(yōu)化、氣路設(shè)計(jì)等領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)突破,攻克產(chǎn)業(yè)發(fā)展關(guān)鍵瓶頸。
市場實(shí)踐驗(yàn)證
在頭部企業(yè)產(chǎn)線成功應(yīng)用,以高品質(zhì)、高效率等特性提升產(chǎn)品良率與效益。
產(chǎn)業(yè)升級賦能
推動國產(chǎn)設(shè)備替代進(jìn)口,加速行業(yè)智能化低成本化發(fā)展,提升產(chǎn)業(yè)核心競爭力。
征途啟新:向產(chǎn)業(yè)深海進(jìn)發(fā)

站在新起點(diǎn),艾科威將此次認(rèn)定視為技術(shù)實(shí)力的權(quán)威背書與國產(chǎn)高端裝備新征程的起點(diǎn),擘畫了清晰的發(fā)展藍(lán)圖。公司明確表示:“我們將以持續(xù)創(chuàng)新重塑產(chǎn)業(yè)競爭格局,讓自主研發(fā)的半導(dǎo)體裝備在全球產(chǎn)業(yè)鏈中占據(jù)更重要的位置。”
技術(shù)攻堅(jiān)
年研發(fā)投入強(qiáng)度超營收15%,持續(xù)深化核心技術(shù)研發(fā),聚焦半導(dǎo)體裝備關(guān)鍵工藝創(chuàng)新。
生態(tài)共建
聯(lián)合產(chǎn)業(yè)鏈伙伴構(gòu)建“裝備 - 工藝 - 材料” 協(xié)同創(chuàng)新平臺,共建自主可控的產(chǎn)業(yè)生態(tài)體系。
市場布局
借力湖南自貿(mào)區(qū)政策優(yōu)勢,加速國內(nèi)外市場拓展布局,目標(biāo)2030 年市場份額實(shí)現(xiàn)市場占比穩(wěn)步提升。

從實(shí)驗(yàn)室的微光到產(chǎn)業(yè)化的曙光,艾科威立式退火爐的認(rèn)證之路,正是中國半導(dǎo)體裝備從追趕到并跑的時代縮影。在國產(chǎn)替代的浩蕩浪潮中,艾科威正以硬核科技為楫,自主創(chuàng)新為帆,駛向高端制造的深藍(lán)海域。
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