喜訊：艾科威半導(dǎo)體立式爐入選湖南首臺（套）裝備，國產(chǎn)裝備再立里程碑

2025年08月11日

2025 年 8 月 11 日，湖南省工業(yè)和信息化廳正式公示年度首臺（套）重大技術(shù)裝備認(rèn)定名單。湖南艾科威半導(dǎo)體裝備有限公司自主研發(fā)的立式退火爐以突破性技術(shù)實(shí)力榮耀登榜。這不僅標(biāo)志著艾科威在半導(dǎo)體核心裝備領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)自主跨越，更奏響了湖南高端制造業(yè)強(qiáng)鏈突圍的鏗鏘足音。

技術(shù)攻堅(jiān)：構(gòu)建國產(chǎn)化裝備核心優(yōu)勢

聚焦半導(dǎo)體晶圓低溫?zé)崽幚砗诵男枨?，艾科威立式退火爐實(shí)現(xiàn)全鏈條技術(shù)突破：

國產(chǎn)化替代突破

專項(xiàng)攻關(guān)核心部件與控制技術(shù)，實(shí)現(xiàn)自主研發(fā)生產(chǎn)，成功替代進(jìn)口部件打破國外壟斷。

智能工藝升級

集成自研自動化系統(tǒng)與晶圓輸送機(jī)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)全流程自動化操作與監(jiān)控，提升生產(chǎn)效率。

性能實(shí)力躍升

控溫精度達(dá)≤±1℃，單批次產(chǎn)量 150 片 / 爐，性能比肩國際同類產(chǎn)品，核心指標(biāo)實(shí)現(xiàn)超越。

行業(yè)痛點(diǎn)破解

攻克傳統(tǒng)設(shè)備溫度精度不足、污染率高、依賴人工等難題，滿足高精度自動化生產(chǎn)需求。

價值認(rèn)證：政策與市場雙重肯定

歷經(jīng)多輪嚴(yán)苛評審，立式退火爐憑多重優(yōu)勢獲權(quán)威認(rèn)定：

政策精準(zhǔn)契合

符合國家及湖南省制造強(qiáng)省、智能制造規(guī)劃，助力制造業(yè)高端化智能化轉(zhuǎn)型。

技術(shù)創(chuàng)新引領(lǐng)

在爐體結(jié)構(gòu)、熱場優(yōu)化、氣路設(shè)計(jì)等領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)突破，攻克產(chǎn)業(yè)發(fā)展關(guān)鍵瓶頸。

市場實(shí)踐驗(yàn)證

在頭部企業(yè)產(chǎn)線成功應(yīng)用，以高品質(zhì)、高效率等特性提升產(chǎn)品良率與效益。

產(chǎn)業(yè)升級賦能

推動國產(chǎn)設(shè)備替代進(jìn)口，加速行業(yè)智能化低成本化發(fā)展，提升產(chǎn)業(yè)核心競爭力。

征途啟新：向產(chǎn)業(yè)深海進(jìn)發(fā)

站在新起點(diǎn)，艾科威將此次認(rèn)定視為技術(shù)實(shí)力的權(quán)威背書與國產(chǎn)高端裝備新征程的起點(diǎn)，擘畫了清晰的發(fā)展藍(lán)圖。公司明確表示：“我們將以持續(xù)創(chuàng)新重塑產(chǎn)業(yè)競爭格局，讓自主研發(fā)的半導(dǎo)體裝備在全球產(chǎn)業(yè)鏈中占據(jù)更重要的位置。”

技術(shù)攻堅(jiān)

年研發(fā)投入強(qiáng)度超營收15%，持續(xù)深化核心技術(shù)研發(fā)，聚焦半導(dǎo)體裝備關(guān)鍵工藝創(chuàng)新。

生態(tài)共建

聯(lián)合產(chǎn)業(yè)鏈伙伴構(gòu)建“裝備 - 工藝 - 材料” 協(xié)同創(chuàng)新平臺，共建自主可控的產(chǎn)業(yè)生態(tài)體系。

市場布局

借力湖南自貿(mào)區(qū)政策優(yōu)勢，加速國內(nèi)外市場拓展布局，目標(biāo)2030 年市場份額實(shí)現(xiàn)市場占比穩(wěn)步提升。