在半導(dǎo)體光電子產(chǎn)業(yè)的賽道上，VCSEL（垂直腔面發(fā)射激光器）被譽(yù)為“光電子核心器件的心臟”，廣泛應(yīng)用于光通信、3D傳感、激光顯示、車載激光雷達(dá)等關(guān)鍵領(lǐng)域，而其制造過程中最關(guān)鍵的側(cè)氧工藝，長期以來被國外高端裝備牢牢壟斷，成為制約國產(chǎn)VCSEL產(chǎn)業(yè)自主可控的“卡脖子”痛點(diǎn)。

進(jìn)口設(shè)備采購成本高、交付周期長，售后響應(yīng)滯后更可能拖累整條生產(chǎn)線，國內(nèi)企業(yè)長期陷入“依賴進(jìn)口、受制于人”的困境。如今，這一困局被艾科威半導(dǎo)體徹底打破——國內(nèi)第一臺(tái)可用于VCSEL側(cè)氧工藝的完全國產(chǎn)低溫立式氧化爐正式落地，以硬核技術(shù)實(shí)力填補(bǔ)國內(nèi)高端氧化設(shè)備空白，讓國產(chǎn)VCSEL芯片制造終于有了“中國裝備”的堅(jiān)實(shí)支撐。

01  硬核創(chuàng)新/ FUTURE

艾科威VCSEL氧化爐并非簡單的“國產(chǎn)化替代”，而是全方位技術(shù)超越。作為完全國產(chǎn)成果，該設(shè)備在技術(shù)、結(jié)構(gòu)、工藝適配及性能上實(shí)現(xiàn)多重突破，全面提升國產(chǎn)低溫氧化爐性能指標(biāo)，核心參數(shù)達(dá)國際領(lǐng)先水平。

VCSEL側(cè)氧工藝中，溫度穩(wěn)定性和氧化均勻性直接決定器件光電性能，微小溫度波動(dòng)便可能導(dǎo)致器件失效。艾科威研發(fā)團(tuán)隊(duì)深耕十余載，打造兩大核心技術(shù)壁壘攻克這一難點(diǎn)：

其一，基于熱流耦合仿真的多溫區(qū)獨(dú)立溫控結(jié)合閉環(huán)反饋調(diào)節(jié)技術(shù)，搭配高純度石英與碳化硅復(fù)合反應(yīng)腔室，解決傳統(tǒng)腔體短板、避免芯片污染，實(shí)現(xiàn)爐內(nèi)溫度精準(zhǔn)把控；其二，自主研發(fā)的動(dòng)態(tài)熱場波動(dòng)補(bǔ)償自適應(yīng)PID算法，可實(shí)時(shí)抵消外界干擾，使溫控精度穩(wěn)定在±0.5℃、氧化均勻性達(dá)±3%以內(nèi)，兩項(xiàng)核心指標(biāo)實(shí)現(xiàn)重大突破。

經(jīng)過上百次腔體優(yōu)化、上千次溫控調(diào)試，該設(shè)備穩(wěn)定性、效率與工藝一致性達(dá)國際頂尖水平，通過ISO9001與SEMIS2雙重認(rèn)證，完成國內(nèi)企業(yè)量產(chǎn)驗(yàn)證，單批次效率優(yōu)于進(jìn)口設(shè)備，綜合使用成本大幅降低，真正實(shí)現(xiàn)“國產(chǎn)造、更優(yōu)質(zhì)、更經(jīng)濟(jì)”。

02  精準(zhǔn)適配/ FUTURE

作為專為VCSEL器件開發(fā)的專用裝備，艾科威VCSEL氧化爐可高效適配VCSEL濕氧工藝，通過濕法氧化工藝在300°C-500°C可控濕度環(huán)境下，為VCSEL器件構(gòu)建致密的光學(xué)限制層與電學(xué)絕緣結(jié)構(gòu)，精準(zhǔn)實(shí)現(xiàn)光場與電流的雙重限制，顯著提升器件性能與可靠性，同時(shí)兼容通用晶圓表面鈍化處理，滿足光電與半導(dǎo)體器件的雙重工藝需求。

依托其卓越的工藝表現(xiàn)，該設(shè)備已深度融入國產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈，覆蓋光通信、激光顯示、3D傳感等多個(gè)核心賽道，更延伸至車載激光雷達(dá)、生物醫(yī)療檢測等新興領(lǐng)域。

01 光通信領(lǐng)域： / Innovate he future

適配850nm VCSEL芯片制造，助力短距互連（SR場景）實(shí)現(xiàn)自主可控，支撐5G通信產(chǎn)業(yè)升級(jí)；

02 3D傳感領(lǐng)域 /  Innovate he future

為手機(jī)人臉識(shí)別、自動(dòng)駕駛感知等場景提供核心工藝支撐，提升傳感精度與穩(wěn)定性；

03 激光顯示領(lǐng)域 / Innovate he future

優(yōu)化VCSEL器件發(fā)光性能，助力激光電視、激光投影等產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)更高畫質(zhì)、更低功耗；

04 科研領(lǐng)域 / CREATE A LIFE

服務(wù)半導(dǎo)體領(lǐng)域“雙一流”高校和科研院所，為VCSEL器件研發(fā)提供可靠的實(shí)驗(yàn)裝備支撐。

目前，艾科威VCSEL氧化爐已服務(wù)華為、中車、中電科等300+行業(yè)龍頭企業(yè)，憑借穩(wěn)定的性能與優(yōu)質(zhì)的服務(wù)，成為國產(chǎn)VCSEL產(chǎn)業(yè)量產(chǎn)與科研的首選裝備，更憑借“首臺(tái)套國產(chǎn)高性能VCSEL立式濕氧爐的研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目，榮獲“長沙銀行杯”2025年湖南省（國際）創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)大賽成長企業(yè)組三等獎(jiǎng)，彰顯中國半導(dǎo)體裝備的自主突破實(shí)力。

03  國產(chǎn)擔(dān)當(dāng)/ FUTURE

半導(dǎo)體裝備是產(chǎn)業(yè)“母機(jī)”，自主可控是高質(zhì)量發(fā)展的前提。艾科威自成立以來，以破解“裝備卡脖子”為初心，秉持“匠心品質(zhì) 追求極致”精神，匯聚國內(nèi)頂尖科研力量，構(gòu)建全領(lǐng)域研發(fā)生產(chǎn)能力，累計(jì)拿下60+項(xiàng)專利及軟著，用十余年沉淀實(shí)現(xiàn)從“跟跑”到“領(lǐng)跑”的跨越。

未來，艾科威將繼續(xù)堅(jiān)守“匠心品質(zhì) 追求極致”的企業(yè)精神，以VCSEL氧化爐的技術(shù)突破為基座，持續(xù)深化“設(shè)備+工藝”一體化服務(wù)，聚焦更多半導(dǎo)體裝備細(xì)分領(lǐng)域的“卡脖子”難題，推動(dòng)成熟技術(shù)向海外市場輸出，讓“湖南智造”的半導(dǎo)體裝備走向全球，用自主創(chuàng)新為中國“芯”的安全發(fā)展筑牢根基，助力中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量發(fā)展，書寫國產(chǎn)裝備的崛起篇章！